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产品类型
沉积系统
PECVDALD
刻蚀系统
RIEICP 刻蚀DRIEXeF2 刻蚀
清洗系统
等离子清洗紫外臭氧

样品尺寸
2, 3 or 4-寸6-寸8-寸300/450 mm其他
用于批量处理小晶圆?

装片方式
不确定手动真空搬送片盒

备注
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我有一个关于工艺参数的问题。 (请说明您的工艺要求。)
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